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沈阳科晶 GSL-1800X-ZF4型 蒸发镀膜仪
仪器概述：
GSL-1800X-ZF4 蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪，特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜（如Ti、Al、Au等），也可蒸镀各种氧化物材料。本机设有4个蒸镀加热舟，且每个蒸镀舟都带有挡板。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜，可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求，是一款镀膜效果理想且性价较高的实验设备。
主要技术特点：
1、真空控制单元全部集合在一个控制盒内。
2、采用独立的蒸镀电流控制器，操作方便快捷。
3、真空腔体设有1个KF40旁抽阀（直接与前级机械泵相连，方便快速取放样品，提高效率）、1个CF150闸板 阀（直接与分子泵相连）、1个KF16法兰（安装电阻规）、5个CF35法兰（1个安装电离规，4个备用，便于,安装其他设备）。
4、在腔体底部配有5个水冷电极，可支持4个蒸镀加热舟。
5、4个蒸镀加热舟上方配有独立的可移动挡板，有效地避免蒸发时相互污染。
6、样品台安装在腔体的顶部。
7、腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪，精度为10Å。
8、可使用循环水冷机。
主要技术参数：
产品型号 | GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪 |
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水） 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套接头）及减压阀。 4、工作台：落地式，占地面积2m2以上 5、通风装置：需要 |
技术参数 | 1、输入：单相AC220V，50Hz/60Hz，功率<2.16KW（不含真空泵） 2、蒸发输出：电压AC0-8V连续可调，最大蒸发电流200A，最大蒸发功率<1.6KW 3、真空腔：Ø300mm（内径）×400mm，不锈钢，内壁经电抛光处理 4、腔门：Ø200mm 5、观察窗：Ø95mm，采用专用密封圈密封 6、真空泵：高抽速涡轮分子泵，抽速600L/s 7、真空度：5.0×10-6torr（泵开启40min后） 8、极限真空度：5.0×10-7torr（加热温度为100℃-150℃） 9、漏率：5.0×10-7Pa/s 10、样品台：Ø140mm 11、蒸发舟与样品台间距：260mm 12、冷却水需量：15L/min |
产品规格 | 尺寸：650mm×1200mm×1600mm；重量：600kg |
操作视频：
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